Photolithographische Multispektralfilter

Photolithographische Multispektralfilter werden durch eine Kombination von Photolithographie und Beschichtungsverfahren präzise hergestellt, wobei mehrere Spektralkanäle an verschiedenen räumlichen Stellen auf einem einzigen Substrat integriert werden. Jeder Kanal hat garantiert hervorragende spektrale Eigenschaften auf der Grundlage einer hohen räumlichen Ausrichtungsgenauigkeit.