5-Kanal-Multispektralfilter

Multispektralfilter werden durch ein kombiniertes Verfahren aus Fotolithografie und Beschichtung präzise hergestellt. Dabei wird eine hochpräzise Replik-Fotolithografie zur Erstellung einer Abscheidungsmaske verwendet, und anschließend werden nacheinander Hochleistungsfilterfilme für jedes Spektralband innerhalb des Abscheidungsmusters beschichtet. Multispektralfilter haben eine hohe Durchlässigkeit, hervorragende Filtereigenschaften, mehrere in ein einziges Substrat integrierte Filterkanäle und eine hohe räumliche Ausrichtungsgenauigkeit. Die Produkte finden breite Anwendung in der räumlichen multispektralen Bildgebung, in multispektralen Bildgebungsspektrometern und in der medizinischen multispektralen Bildgebung.